8日，中國(guó)首臺(tái)代表國(guó)際尖端水平的薄膜太陽(yáng)能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備——等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)在上海成功下線(xiàn)，這被視為中國(guó)在新能源高端裝備領(lǐng)域取得的“零的突破”。“中國(guó)造”的PECVD性能領(lǐng)先于國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品，價(jià)格大幅低于后者，國(guó)內(nèi)薄膜太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程有望提速。
PECVD首次“國(guó)產(chǎn)化”：薄膜太陽(yáng)能電池產(chǎn)業(yè)化有望加速
創(chuàng)造這一突破的是注冊(cè)在浦東張江高科技園區(qū)的理想能源設(shè)備公司。據(jù)該公司總經(jīng)理錢(qián)學(xué)煜介紹，一片“1.1米×1.4米”的普通平板玻璃完成導(dǎo)電層覆膜后，進(jìn)入PECVD反應(yīng)腔，完成化學(xué)氣象材料疊層結(jié)構(gòu)的覆膜，厚度增加了兩個(gè)微米，即成為轉(zhuǎn)化率可達(dá)10%的薄膜太陽(yáng)能電池。
2009年8月，留美博士錢(qián)學(xué)煜與20多名曾在國(guó)際一流企業(yè)有過(guò)豐富經(jīng)驗(yàn)的設(shè)備、工藝和管理專(zhuān)家成立理想能源公司。一年多里，該公司相繼完成了PECVD首臺(tái)機(jī)的研發(fā)、中試、下線(xiàn)，并申請(qǐng)了10多項(xiàng)核心技術(shù)專(zhuān)利。
據(jù)介紹，該設(shè)備采用了創(chuàng)新的超高頻射頻技術(shù)，精密的真空和溫度控制技術(shù)，快速的自動(dòng)傳輸技術(shù)以及多腔多片的反應(yīng)腔系統(tǒng)等，大大提高了產(chǎn)能，其產(chǎn)品性能優(yōu)于國(guó)際一流設(shè)備，但價(jià)格遠(yuǎn)低于同等的進(jìn)口設(shè)備。
錢(qián)學(xué)煜說(shuō)：“從國(guó)外進(jìn)口一臺(tái)這樣的設(shè)備要兩三億元人民幣，我們自己生產(chǎn)的大概只需一億元左右。一臺(tái)設(shè)備年產(chǎn)能約有15兆瓦，三臺(tái)設(shè)備便可組成一條年產(chǎn)能近50兆瓦的生產(chǎn)線(xiàn)。”
工業(yè)和信息化部裝備工業(yè)司副司長(zhǎng)李東表示，高端薄膜太陽(yáng)能電池關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的研制成功，為中國(guó)新能源產(chǎn)業(yè)下一步的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
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